デジタルホログラフィ検査機

従来検出が難しかった、透明または半透明製品の内部に発生する、『脈理』・『気泡』等の欠陥を、タカノのコア技術とデジタルホログラフィ技術を応用し、ワンショット撮影で、高速かつ高分解能で検査可能なシステムを開発しました。
ワンショット撮影で製品の内部だけでなく、表面・裏面の欠陥も同時に検査可能です。
これにより、検査の自動化による生産性向上と品質の安定を図ることができます。IRカットフィルタ・各種光学フィルタ・ガラスレンズ材料・カバーガラス・透明または半透明材料を使ったウェーハなどの検査に最適です。

特長

• 透明または半透明の製品の表面・内部・裏面の欠陥をワンショット撮影で検査可能
• エリアセンサカメラ、ラインセンサカメラによるインライン検査に対応可能
• シンプルな構成（撮像レンズ不要）
• 水平分解能5μｍ/pixと高分解能でありながら、焦点深度は±10mmと深く、オートフォーカス機構は不要
• 製品のエリア毎に判定基準を設定できるなど、カスタム対応も可能

用途

• メガネレンズ、光学レンズ
• IRカットフィルタ、各種光学フィルタ（NDフィルタ、色フィルタなど）
• スマートフォンのモニター画面やカメラセンサのカバーガラス
• FA用カメラセンサのカバーガラス
• 微細欠陥を検出したい無地の透明フィルムや透明シート
• 半導体ウェーハの材料となる透明または半透明の製品

検出項目

• 内部欠陥：脈理・クラック・気泡・埋没異物など
• 外部欠陥：キズ・コート不良・汚れ・異物・ガラスのヤケなど

検査仕様

※1 製品の外観や仕様は改良のため予告なく変更する場合があります。
※2 特殊な仕様にも対応致します。デモ機も用意されていますのでお気軽にご相談ください。

欠陥検出画像例