MEMS･半導体関連技術
MEMSデバイス開発
材料開発、シミュレーション、構造設計、プロセス設計、試作、量産
設計、試作、量産までお客様のイメージするデバイスを実現いたします。
構造設計、プロセス設計、デバイス評価まで一環したデバイス開発が可能です。特にお客様のイメージするデバイスを各種シミュレータとプロセスノウハウによる検証した構造設計が可能です。
| 実施例 | 光学、ミラー、超音波、温度、各種センサー類、微細プローブ、インターポーザー、WCSP |
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TEG例
ASIC専用システムインPKG開発例
超薄型メンブレン構造
材料調達
< 各種パッケージ、各種ウェハー、プロセス材料、他社デバイス etc. >
既製品から特殊仕様、成膜、パターン付きモニタウェハー作製など。
プロセス加工
< 各種材料成膜、フォトリソ、エッチング、めっき、BG、ダイシング、各種検査、etc. >
各種プロセス部分工程加工
センサー周辺回路
評価ボード作製、PCB、ASIC、ソフトウェア
各種評価、解析
電特評価、各種物理解析、分析